Разработка программ и методик испытаний, оптимизация технологии создания 3D интерпозера, работающего в качестве носителя для гетерогенной системной интеграции.

Проведено исследование конструктивных и технологических решений по созданию 3D-интерпозера, в ходе которых были изучены наиболее распространённые и перспективные методы его разработки, изготовления, анализа. Разработаны методы исследования 3D-интерпозера и конструкций вида 3D-интерпозер - кристалл, заключающиеся в использовании неразрушающего контроля для определения структурных параметров и контроля с использованием среза образцов. Проанализированы группы физических параметров 3D-интерпозера и их начальных значений для контроля исследуемых областей с возможным исключением наименее значимых характеристик, в ходе которых были определены основные геометрические свойства структурных элементов после процесса пайки, влияющие на технологию изготовления и анализа качества 3D-интерпозера. Исследован образец 3D-интерпозера, представляющий собой интегральную структуру из двух кристаллов с переходной составляющей в виде контактов, соединённых припоем. Разработана методика исследования образцов и выбора параметров измерительного оборудования, необходимых для анализа характеристик образца, влияющих на технологию его изготовления. Методика заключается в применении технологического и измерительного оборудования для анализа характеристик электрических контактов 3D-интерпозера и их характеристик.