Этап № 4 Нанесение оксида циркония и карбида тантала на детали сложной формы и осаждение тантала и молибдена на плоские и внутрение поверхноси

Цель: разработка технологии химического парофазного осаждения тугоплавких инертных коррозионно-стойких возобновляемых покрытий на внутреннюю и внешнюю поверхности деталей сложной формы для увеличения срока их эксплуатации. Определены основные этапы технологического процесса нанесения покрытий на плоские поверхности, последовательность технологических операций по осаждению определенных типов покрытий – тантала, карбида тантала, молибдена, оксида циркония. Разработаны эскизные проекты лабораторных установок для нанесения покрытий на плоские образцы, на детали сложной формы и на внутренние поверхности труб. Разработаны четыре методики исследования качества покрытий, получаемых методом химического парофазного осаждения, методом оптической микроскопии, методом растровой электронной микроскопии, методом энергодисперсионного микрорентгеноспектрального анализа и методом профилометрии. Синтезирован прекусор для осаждения покрытия оксида циркония (ZrO2); осуществлен синтез прекурсоров (хлорид тантала и хлорид молибдена) для осаждения покрытий из карбида тантала, тантала и молибдена, а также синтез прекурсоров (бромид тантала и бромид молибдена) для бесхлоридного осаждения металлических Та и Мо. Изготовлены лабораторные установки для осаждения покрытий на плоские поверхности (ЛП), на детали сложной формы (ЛС) и на внутренние поверхности труб (ЛТ). Проведены исследования по осаждению покрытий из оксида циркония с последующей оценкой качества покрытий по разработанным ранее методикам. Проведены исследования процесса нанесения карбида тантала на плоские и внутренние поверхности на установках ЛП и ЛТ с последующей оценкой качества покрытия по разработанным ранее методикам. Проведены исследования процесса осаждения Та и Мо на плоских поверхностях и внутренних поверхностях труб по галогенидной технологии на установках ЛП и ЛТ с последующей оценкой качества покрытия по разработанным ранее методикам.Проведены исследования процесса нанесения оксида циркония на внутренние поверхности труб на установке ЛТ с последующей оценкой качества покрытия по разработанным ранее методикам. Проведены исследования процесса осаждения оксида циркония и карбида тантала на детали сложной формы на установке ЛС с последующей оценкой качества покрытия по разработанным ранее методикам. Разработаны технические требования к экспериментальной установке по нанесению покрытий методом газофазного осаждения.