Обобщение и оценка результатов (заключительный)

Объект исследования - конструктивно-технологические решения для разработки элементной компонентной базы высокотемпературной микроэлектроники на структурах кремний-на-изоляторе. Цель исследования - разработка комплекса конструктивно-технологических решений, направленных на создание технологий и конструкций изделий высокотемпературной микроэлектроники на рабочий диапазон температур от минус 60ºС до плюс 225ºС на структурах кремний-на-изоляторе с проектными нормами 0,5 мкм.На пятом этапе ПНИ выполнено обобщение результатов ПНИ, сопоставление анализа научно-информационных источников и результатов теоретических и экспериментальных исследований; оценена эффективность полученных результатов в сравнении с современным научно-техническим уровнем; осуществлен анализ выполнения требований ТЗ на ПНИ; проведена оценка полноты решения задач и достижения поставленных целей ПНИ; выполнена технико-экономическая оценка рыночного потенциала полученных результатов; разработаны технические требования и предложения по производству и эксплуатации продукции с учетом технологических особенностей индустриального партнера (ПАО «Микрон»). Подготовлен проект технического задания на проведение ОТР по теме «Разработка базового технологического процесса изготовления изделий высокотемпературной электроники с проектными нормами 0,5 мкм». Актуальность поисковых исследований и разработки отечественных технологий высокотемпературной микроэлектроники на КНИ структурах с проектной нормой 0,5 мкм определяется тем, что в обозримом будущем прогнозируется создание и использование новейших интеллектуальных средств вооружений не только с повышенной точностью поражения цели, но и живучестью даже в условиях экстремальных воздействий. Экспорт подобных средств и технологий их изготовления жестко ограничен. Как аналоговые, так и цифровые интегральные схемы имеют большое количество применений, например, в бытовой электронике и промышленном измерительном оборудовании. Последние должны надежно работать в температурном диапазоне, определяемом техническим заданием заказчика.