Разработка новой технологии создания источника мягкого рентгеновского излучения на основе матрицы микрофокусных рентгеновских трубок для безмасочного литографа

Объект исследования: новая технология создания источника мягкого рентгеновского излучения на основе матрицы микрофокусных рентгеновских трубок для безмасочного литографа.Цель: разработка технологической документации для изготовления составных конструктивных элементов разрабатываемого источника мягкого рентгеновского излучения.Выполнены следующие работы: проведена разработка технологического маршрута изготовления экспериментальных образцов матрицы анодных узлов; проведена отработка операций технологического маршрута изготовления экспериментальных образцов матрицы анодных узлов; проведена корректировка технологического маршрута изготовления экспериментальных образцов матрицы катодных узлов; проведена корректировка технологического маршрута изготовления экспериментальных образцов матрицы анодных узлов; проведены разработка и апробация технологии и конструкции соединения катодного и анодного узлов.