Проведение исследовательских испытаний экспериментального образца источника мягкого рентгеновского излучения

Объектом исследования являются физические процессы в источнике мягкого рентгеновского излучения на основе матрицы микрофокусных рентгеновских трубок для безмасочного литографа.Цель: разработка источника мягкого рентгеновского излучения и отработка его технологии изготовления, проведение исследовательских испытаний.В результате работ проведены: отработка изготовления источника мягкого рентгеновского излучения, его исследовательские испытания, оценка возможности получения топологического рисунка. Для этого проведены работы по разработке технологических маршрутов, лабораторных технологических инструкций, изготовлению экспериментальных образцов, подготовке к проведению исследований (изготовление и доработка соответствующих стендов), исследовательские испытания.