“СОЗДАНИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНОГО ТЕРМОЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ДАТЧИКА ТЕПЛОВОГО ПОТОКА ДЛЯ ПРИМЕНЕНИЯ В СОСТАВЕ СИСТЕМ ТЕПЛОСНАБЖЕНИЯ И В ТЕХНОЛОГИЧЕСКОМ ПРОМЫШЛЕННОМ ОБОРУДОВАНИИ, А ТАКЖЕ В СИСТЕМАХ "УМНЫЙ ДОМ"” Этап 3 (заключительный)

РЕФЕРАТ Отчет 72 с., 32 рис., 4 табл., 15 источников, 3 приложения. ТЕРМОЭЛЕКТРИКИ, ТОНКИЕ ПЛЕНКИ, МИКРОСКОПИЯ, ДИФРАКТОМЕТРИЯ, ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТЬ, ТЕПЛОПРОВОДНОСТЬ, ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕРМОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ, ФОТОЛИТОГРАФИЯ, МАГНЕТРОННОЕ НАПЫЛЕНИЕ, ТОНКОПЛЕНОЧНАЯ ЭЛЕКТРОИЗОЛЯЦИЯ, ДАТЧИК ТЕПЛОВОГО ПОТОКА, ЭФФЕКТ ЗЕЕБЕКА. Объектом исследования являются микроструктуры на основе тонких термоэлектрических пленок теллурида висмута, отработка технологических операций по формированию тонкопленочных термоэлектрических покрытий. Цель научно-исследовательских и научно-технических работ — разработка изготовление и исследование экспериментального образца тонкопленочного термоэлектрического датчика теплового потока. В ходе работы были разработаны и исследованы экспериментальные образцы тонкопленочного термоэлектрического датчика теплового потока. Изготовлен экспериментальный образец тонкопленочного термоэлектрического датчика теплового потока. Проведено тестирование тонкопленочного термоэлектрического датчика теплового потока. При выполнении третьего этапа подготовлены требования технического задания на разработку опытного образца термоэлектрического тонкопленочного датчика теплового потока.