ФУНДАМЕНТАЛЬНЫЕ ОСНОВЫ КОНСТРУИРОВАНИЯ НОВЫХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПЬЕЗОМАТЕРИАЛОВ ДЛЯ НАНО И МИКРОСИСТЕМ, ИСПОЛЬЗУЕМЫХ В РАДИОТЕХНИЧЕСКИХ УСТРОЙСТВАХ СЕЛЕКЦИИ И ГЕНЕРАЦИИ СИГНАЛОВ СВЧ ДИАПАЗОНА

Отчет 108 с., 46 рис., 12 табл., 65 источн., 2 прил. ФИЛЬТР СВЧ, РЕЗОНАТОР НА ОАВ, МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ, ФАЗОВЫЙ СОСТАВ, СТРУКТУРА ПЛЕНОК, ТЕКСТУРА ПЛЕНОК, ПЬЕЗОСВОЙСТВА МАТЕРИАЛОВ. Объект исследования – взаимосвязь характеристик ОАВ - резонаторов на основе пленок нитрида алюминия с технологическими условиями магнетронного формирования структуры резонатора с брэгговским отражателем. Целью исследования являлось моделирование механизмов формирования и разработка технологий формирования тонкопленочных материалов и пьезоэлектрических структур с заданными свойствами и конструирование нано – и микросистем на их основе для проектирования и изготовления элементной базы радиотехнических устройств селекции и генерации сигналов СВЧ (1 - 20 ГГц) диапазона на объемных акустических волнах (ОАВ). Дальнейшее развитие устройств систем связи и передачи данных определяется в первую очередь расширением их частотного диапазона в сторону сверхвысоких частот (СВЧ) в диапазоне 1 - 20 ГГц и связано с совершенствованием существующих и созданием новых функциональных элементов, осуществляющих частотную селекцию и генерацию сигналов. Современные технические решения в этой области основываются на использовании комбинации результатов фундаментальных исследований и технологических достижений в области материаловедения, пьезоэлектроники и технологий производства нано и микросистемной техники. Методы проведения работы – моделирование и конструирование новых тонкопленочных материалов на основе нитрида алюминия (AlN) с использованием метода реактивного магнетронного формирования пленок. Современные технические решения в этой области основываются на использовании комбинации результатов фундаментальных исследований и технологических достижений в области материаловедения, пьезоэлектроники и технологий производства нано и микросистемной техники: 1. Изучение механизмов роста и моделирование процессов формирования пленок AlN методом реактивного магнетронного распыления. 2. Исследование параметров и свойств пленок AlN (текстура, фазовый и элементный состав, морфология поверхности, механические свойства) методами рентгенофазового анализа (РФА), атомно-силовой микроскопии (АСМ), растровой электронной микроскопии (РЭМ). . 3.Разработка конструкций и технологии изготовления микроэлектронных резонаторов на ОАВ с пьезоэлектрическим слоем нитрида алюминия для исследования нелинейных эффектов в данных резонаторах. 4. Разработка модели и технологии изготовления полосовых фильтров на основе резонаторов на ОАВ с пьезоэлектрическим слоем нитрида алюминия. Область применения результатов – изготовление элементной базы радиотехнических устройств селекции и генерации сигналов СВЧ-диапазона. Рекомендации по внедрению должны учитываться при разработке перспективных радиосистем на предприятиях промышленности.