Неравновесные процессы в разреженном газе и плазме при формировании наноструктур

Проектом предусмотрено решение ряда первостепенных задач, существующих в области разработки новых функциональных материалов и оптимизации из свойств, в частности: газоструйный синтез углеродных и алмазоподобных пленок методом Hot Wire CVD; газоструйный синтез нанокластеров металла, стабилизированных в инертной матрице; газоструйный синтез пленок кремния (субоксида кремния) с использованием активации на каталитической поверхности; Моделирование неравновесных течений разреженного газа c учетом газофазных и гетерогенных химических реакций; теоретические исследования роли плазмы при лазерной микро/наномодификации поверхностей и формировании наноструктурных пленок методом лазерной абляции.