"Разработка и изготовление опытного образца установки контроля полутоновых маскирующих покрытий фотошаблонов в обеспечение производства ИС топологическими нормами 90-65 нм"

Целью выполнения ОКР является разработка конструкторской документации с литерой «О» и «О1», изготовление опытного образца установки контроля полутоновых маскирующих покрытий фотошаблонов в обеспечение производства ИС с топологическими нормами 90-65 нм (далее – Установка). В ходе выполнения ОКР должны быть выполнены следующие работы: – определена длина волны излучения рабочего лазера; – разработан эскизный проект Установки; – разработана конструкторская документация (КД), технологическая документация (ТД) и эксплуатационная документация (ЭД) на Установку; – изготовлен один опытный образец Установки; – разработан технологический процесс контроля полутоновых маскирующих покрытий фотошаблонов в обеспечение производства ИС с топологическими нормами 90-65 нм; – совместно с Заказчиком проведены предварительные испытания опытного образца Установки, по результатам предварительных испытаний КД, ТД присвоена литера «О»; – совместно с Заказчиком проведены приемочные испытания опытного образца Установки, по результатам приемочных испытаний КД, ТД присвоена литера «О1». Состав Установки: а) оптико-механическое устройство (ОМУ) в составе: - объектив; - система освещения; - система фокусировки; - координатная система; - система загрузки-выгрузки фотошаблонов; б) комплекс управляющий (КУ) в составе: - стойка управления; - вычислительный комплекс, предназначенный для управления Установкой и обработки информации, на базе IBM PC или аналогичного персонального компьютера (далее – ПК), имеющий выход в локальную сеть Ethernet; в) программное обеспечение (ПО), включая систему управления. Основные технические требования к параметрам Установки: Размер фотошаблонов - 152,4х152,4 мм Толщины фотошаблонов - 6,35 мм Материал фотошаблона - Кварц Диапазон перемещения координатного стола, не менее - 152х152 мм Контроль фотошаблонов, защищенных пелликлом с высотой рамки - до 6 мм Загрузка-выгрузка фотошаблонов на координатный стол - Полуавтоматическая Тип покрытия контролируемых ФШ - Полутоновое маскирующее покрытие (MoSi) Фокусировка -Автоматическая Перемещение в зону контроля - Автоматически Наведение на контролируемый объект - Полуавтоматически Длина волны излучения рабочего лазера - уточняется на этапе разработки конструкторской документации на Установку Воспроизводимость контроля фазы, не более - 3% Воспроизводимость контроля пропускания, не более - 3% Время одного измерения, не более - 10 сек Предъявление результатов контроля - Наличие Потребляемая мощность, не более - 7 кВт