«Разработка и освоение в производстве установки контроля координат топологических элементов и критических размеров структур на фотошаблонах в обеспечение производства ИС с топологическими нормами 90-65 нм»

В рамках ОКР должны быть выполнены следующие работы: - разработан эскизный проект Установки; - разработана конструкторская документация (КД), технологическая документация (ТД) и эксплуатационная документация (ЭД) на Установку; - изготовлено не менее 2-х опытных образцов Установки; - разработан технологический процесс контроля координат топологических элементов и критических размеров структур на фотошаблонах в обеспечение производства ИС с топологическими нормами 90-65 нм; разработан технологический процесс аттестации координатной сетки технологических автоматов формирования топологического рисунка ИС на фотошаблонах. - совместно с Заказчиком проведены приемочные испытания (ПИ) опытного образца Установки, по результатам ПИ КД, ТД, присвоена литера «О»; - получено заключение предприятия-потребителя по уровню параметров и применяемости разработанной Установки; - определено предприятие-изготовитель Установки. Ожидаемые технические характеристики Установки лазерного устранения дефектов в составе:  а) устройство оптико-механическое (ОМУ);  б) блок очистки сжатого воздуха от примесей и влаги;  в) платформа подавления вибраций;  г) компрессор;  д) камера микроклимата (КМК);  е) комплект запасных частей и принадлежностей (ЗИП)  ж) комплекс управляющий (КУ) в составе:  з) стойка управления (СУ)  и) стойка управления координатным столом;  к) стойка компьютерная;  л) программное обеспечение (ПО);  м) аттестованный фотошаблон для юстировки установки Основные технические требования к параметрам Установки:  Ход координатного стола, мм - 200x200;  Рабочая длина волны измерительных каналов, нм - 365;  Диапазон измерения критических размеров, мкм - 0,3 - 10;  Поле зрения канала высокого разрешения и измерения критических размеров (работа с пелликлами невозможна), мм - 0,1;  Поле зрения канала измерения координат знаков, мм – 0,1;  Поле зрения визуального канала, мм – 0,5;  Среднее квадратическое отклонение (СКО) случайной составляющей погрешности при контроле положения элементов топологии на поле 135x135 мм не должно быть более (без перезагрузки фотошаблона), нм – 3 ;  Среднее квадратическое отклонение (СКО) случайной составляющей погрешности при контроле размеров элементов топологии фотошаблона в диапазоне (0,3 - 10) мкм не должно быть более, нм – 2;  Минимальный регистрируемый размер элемента, мкм – 0,3.