Исследование возможности интеграции кристаллов методом перевернутого монтажа на пассивные монолитные интегральные схемы СВЧ

Объект исследования: технологические способы интеграции кристаллов на пассивные МИС СВЧ. Цель исследования: исследование возможности интеграции кристаллов на пассивные монолитные интегральные схемы (МИС) СВЧ методом перевернутого монтажа на основе тонкоплёночной системы металлов Au-Sn для создания гибридно-монолитных интегральных схем СВЧ на основе 2,5D и 3D интеграции для СВЧ аппаратуры перспективных систем радиолокации, радиоэлектронного противодействия, идентификации, связи и управления. Ожидаемые результаты: - будут исследованы технологические способы интеграции кристаллов на пассивные МИС СВЧ; - разработана эскизная ТД на процесс интеграции кристаллов на пассивные монолитные интегральные схемы (МИС) СВЧ методом перевернутого монтажа; - будут проведена отработка процессов интеграции для ряда типоразмеров кристаллов и пассивных МИС СВЧ; - будут проведены работы по утонению кремниевых подложек со сформированной топологией МИС, формирование в утоненной подложке сквозных отверстий до контактных площадок МИС. - будут проведены патентные исследования.