Нанесение многокомпонентных и многослойных покрытий магнетронным распылением с ионным сопровождением

11.05.2017

Разработана технология нанесения многокомпонентных и многослойных покрытий магнетронным распылением с ионным сопровождением, отличительной особенностью которой является применение электроннолучевого генератора плазмы, обеспечивающего регулируемые в широких пределах плотность тока ионного сопровождения и энергию ионов, для оптимизации микроструктуры покрытий. Предлагаемая технология превосходит напылительные устройства, в которых ионное сопровождение обеспечивается использованием магнетронных систем с некомпенсированным магнитным полем, что не позволяет менять отношение потока распыленных нейтральных частиц и потока ионов на поверхности осаждаемого покрытия для изменения его микроструктуры.

ГРНТИ

55.22.29 Комбинированные и другие покрытия

81.33 Коррозия и защита от коррозии

Детали

Отрасль ТЭК

Не указано

Критически значимая технология

Третий технологический уклад, электротехническая промышленность

Инновационность

отсутствует

Эффект от внедрения

Годовой экономический эффект – 870 тыс. руб.