РИД
№ АААА-Г16-616123010038-1Устройство для нанесения покрытий в вакууме
30.12.2016
Изобретение относится к области вакуумно-плазменной техники, а более конкретно к устройствам, предназначенным, прежде всего, для нанесения на изделия функциональных покрытий, применяемых в микро- и наноэлектронике.
ГРНТИ
55.20.99 Другие виды электрофизикохимической обработки
Ключевые слова
ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ПОКРЫТИЯ
Детали
НИОКТР
№ 114100640020
Тип РИД
Изобретение
Ожидается
Исполнитель
Исполнители
Акционерное общество "Научно-исследовательский институт точного машиностроения"
Заказчик
Министерство образования и науки Российской Федерации
Похожие документы
Устройство для нанесения диффузионных покрытий
0.930
РИД
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО НАПЫЛЕНИЯ
0.920
РИД
Устройство для вакуумно-плазменного осаждения материалов с ионной стимуляцией
0.919
РИД
Устройство для осаждения тонких пленок из газовой фазы
0.916
РИД
Устройство для нанесения покрытия вакуумно-дуговым испарением
0.913
РИД
Устройство для локального нанесения металлических покрытий электролитическим методом
0.910
РИД
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК
0.901
РИД
Устройство для нанесения тонкопленочных покрытий.
0.901
РИД
Устройство для нанесения многослойных покрытий
0.898
РИД
Устройство для синтеза покрытий
0.898
РИД