Устройство для нанесения многослойных покрытий

Полезная модель относится к плазменной технике, а именно к устройствам для нанесения оптических, защитных и других многослойных покрытий на поверхности подложек путем вакуумного распыления металлов, и может быть использована для нанесения наноструктурированных покрытий, применяющихся в рентгеновской и нейтронной оптике. Устройство для нанесения многослойных покрытий содержит герметизированную рабочую камеру с закрепленными на боковой стенке по меньшей мере одним ионным источником, и по меньшей мере двумя магнетронами, многоканальную систему напуска рабочего газа, вакуумную систему, шлюзовую камеру, отделенную от рабочей камеры вакуумным затвором, реверсивную камеру, транспортную систему линейного перемещения с держателем подложек и контрольно-измерительные элементы расхода газа и давления, взаимосвязанные с блоком управления технологическими процессами связанным с запорно-регулирующими элементами. Устройство также содержит контрольно-измерительные элементы скорости осаждения покрытия,