РИД
№ АААА-Г17-617011810058-0

Автоэмиссионный катод

18.01.2017

Полезная модель относится к устройствам вакуумной электроники в частности к автоэмиттерам электронов, которые могут быть использованы при создании полевых эмиссионных диодов, автоэмиссионных дисплеев, усилителей и генераторов СВЧ электроники. Технический результат полезной модели – получение стабильного автоэмиссионного катода с высокой плотностью автоэмиссионного тока до 10 А/см2. Результат достигнут использованием в качестве эмиттера электронов проводящего карбида кремния, на углеродной грани которого сформирован эмиссионный катод с многослойной графеновой пленкой. Для повышения эффективности на обратную сторону карбида кремния нанесена пленка никеля с подслоем титана. Полученный катод обеспечивает плотность автоэмиссионного тока на уровне 10 А/см2 при приложенном напряжении до 10 В.
ГРНТИ
47.13.09 Технология и оборудование для производства электровакуумных и газоразрядных приборов
47.13.11 Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
47.13.33 Электронно-ионноплазменные технологии электронного производства
Ключевые слова
АВТОЭМИССИЯ
ГРАФЕН
ЭМИТТЕР
SIC
НАНОТЕХНОЛОГИИ
Детали

НИОКТР
№ 114090340011
Тип РИД
Полезная модель
Ожидается
Исполнитель
Исполнители
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет"
Заказчик
Министерство образования и науки Российской Федерации