Плазменный СВЧ реактор

Изобретение относится к плазменным СВЧ реакторам для химического осажде-ния из газовой фазы материалов, в частности, для получения углеродных (алмазных) пленок. Плазменный СВЧ реактор содержит волноводную линию для подвода излучения от СВЧ генератора к реактору, цилиндрический резонатор, возбуждаемый с помощью коаксиальной линии со штырем связи, юстирующее устройство для настройки цилиндрического резонатора, реакционную камеру с системой напуска и откачки выбранной газовой смеси, с установленной в реакционной камере подложкой на подложкодержателе. Выполнение реактора на основе цилиндрического резонатора с нижней торцевой стенкой этого резонатора, имеющей уступ выбираемого профиля с внешним диаметром, равным внутреннему диаметру резонатора, позволяет формировать распределение ближнего электрического поля над подложкой диаметром более половины длины СВЧ волны.