СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КРЕМНИЕВОЙ ПОРИСТОЙ МЕМБРАНЫ

Предлагаемый способ получения кремниевой пористой мембраны в монолитном обрамлении включает формирование пористого слоя методом анодного травления пластины кремния, вскрытие пористого слоя с тыльной стороны пластины кремния путем механического утонения, удаление верхнего слоя с низкой пористостью методом ионного распыления ионами Ar+, и отличается тем, что пористый слой пластины кремния формируется методом анодного травления в электролите состава HF:(CH3)2CO в объемном соотношении 1 : (2-4), а удаление мелкодисперсного кремния со дна лунки с тыльной стороны проводят методом ионного распыления ионами Ar+. Формирование пористого слоя методом анодного травления пластины кремния проводят в однокамерной ячейке, пластины кремния во время анодного травления освещают сверху лампой накаливания.Техническим результатом изобретения является создание механически прочных кремниевых пористых мембран в монолитном обрамлении с варьируемыми размерами толщины мембраны и диаметров пор.