Способ изготовления автоэмиссионного катода лезвийного типа

Изобретение относится к электронной технике, к катодам электронных приборов СВЧ-типа, например, лампам бегущей волны (ЛБВ). Технический результат - повышение стабильности эмиссионной способности катодов. Способ изготовления автоэмиссионного катода лезвийного типа включает операции последовательного нанесения рельефной пленки, пленки материала катода, выступающих в роли масок травления и формирование эмитирующей поверхности автоэмиссионного катода --ребра лезвийной формы. Ребро эмитирующей поверхности формируется жидкостным анизотропным травлением кремния до выхода фронта растрава на стоп-слой – рельефную пленку, состоящую из комбинации двух слоев: одного слоя Si02 и одного слоя SiзN4.