Программа моделирования криогенного плазменного травления NGCES

Программа решает задачи математического моделирования процесса криогенного плазменного травления. Программа позволяет рассчитывать трехмерные профили травления для произвольной топологии маски и параметров плазменного разряда, задаваемых пользователем. Область моделирования разбивается на кубические ячейки. Профиль травления представляется как граница между заполненными и вакантными ячейками. Потоки частиц плазмы внутри профиля рассчитываются с помощью метода Монте-Карло, а поверхностная кинетика моделируется в рамках подхода кинетического Монте-Карло. Программа построена по модульному принципу, причем конкретные реализации модулей задаются пользователем перед расчетом. Это позволяет эффективно решать задачи расчета профилей травления, а также оптимизации и калибровки параметров модели. Возможен вывод результата расчетов в файл формата HDF5. ОС: Windows 10 и выше.