Способ подготовки поверхности кремния и стекла перед процессом анодного бондинга

Способ подготовки поверхности кремния и стекла перед процессом анодного бондинга, включающий плазмохимическую обработку кремниевой пластины в плазме Ar:O2:CF4, жидкостную обработку кремниевой пластины и стеклянной подложки, состоящий в том, что сначала проводят плазмохимическую обработку поверхности кремния в плазме Ar:O2:CF4 в соотношении газовой смеси 2:4:3, после чего кремниевую пластину обрабатывают в травителе 1:50 BHF (буферный раствор) до скатывания, далее проводят отмывку кремниевой пластины в деионизованной воде от остатков буферного раствора и сушат кремниевую пластину с помощью азотного пистолета, параллельно проводят отмывку стеклянной подложки в растворе диметилформамида (ДМФА) при температуре 80 оС в течение 10 минут, отмывают стеклянную подложку от остатков ДМФА в деионизованной воде и сушат её азотным пистолетом. Техническим результатом является улучшение надежности соединения стекла и кремния, полученного с помощью процесса анодного бондинга.