Автоматизированное устройство для формирования тонкопленочных покрытий наноразмерной толщины методом послойной сборки

Изобретение

Изобретение относится к области нанотехнологий и предназначено для создания покрытий наноразмерной толщины на поверхности широкого круга подложек методом полислойной сборки, используемых в солнечной энергетике, электрохимии, катализе, оптике, электронике, сенсорике, металлургии и др. отраслях материаловедения. Преимущество настоящего устройства заключается в повышенном качестве получаемых тонкопленочных покрытий, снижении расхода реагентов и повышении безопасности и экологичности процесса за счет возможности жесткого контроля атмосферы в герметичном корпусе с держателем подложек. Понижение себестоимости покрытий достигается за счет увеличения производительности процесса. Использование в научной и образовательной деятельности СПбГУ и других ВУЗов и НИИ, в лабораториях, работающих в области нанотехнологии и материаловедения

Исполнитель

ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ"

МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ