НИОКТР
№ АААА-А18-118021490075-0CVD cинтез и диагностика структуры алмазных пленок
08.02.2018
Микроволновой синтез пленок алмаза. Исследование влияние параметров синтеза (температура, давление) и влияние состава газовой среды, природы подложки на скорость формирования и морфологию пленки. Диагностика продуктов синтеза методами рамановской и рентгеноэлектронной спектроскопия, растровой электронной и зондовой микроскопии). Микроволновой синтез пленок алмаза на кремниевых подложках. Выявление роли химической структуры молекул – предшественников на синтез алмазных структур. Диагностика продуктов синтеза методами рамановской и рентгеноэлектронной спектроскопия, растровой электронной и зондовой микроскопии. Микроволновой синтез пленок алмаза на металлических и полупроводниковых подложках. Исследование влияние роли подложки на зародышеобразование, скорость роста и морфологию алмазных пленок. Диагностика продуктов синтеза методами рамановской и рентгеноэлектронной спектроскопии, растровой электронной и зондовой микроскопии.
ГРНТИ
31.15.25 Химическая термодинамика. Термохимия. Равновесия. Физико-химический анализ, фазовые переходы
31.15.19 Химия твердого тела
Ключевые слова
МИКРОВОЛНОВОЙ ПЛАЗМЕННЫЙ СИНТЕЗ
АЛМАЗНЫЕ ПЛЕНКИ
СТРУКТУРА ПОВЕРХНОСТИ
РЕНТГЕНОВСКАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ
РЕНТГЕНОЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ
ЭЛЕКТРОННОЕ СТРОЕНИЕ
Детали
Начало
01.01.2018
Окончание
31.12.2020
№ контракта
II.1.47.3
Заказчик
Сибирское отделение Российской академии наук
Исполнитель
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук
Бюджет
Средства федерального бюджета: 242 250 ₽
Похожие документы
Синтез и обработка новых неорганических материалов с использованием плазмы и микроволнового излучения
0.920
НИОКТР
Развитие методов газофазного синтеза моно, поли и нано кристаллических алмазных пленок и пластин (CVD алмаз), одностенных углеродных нанотрубок и графена, а также углеродных нанокомпозитов на их основе.
0.917
НИОКТР
Технология синтеза монокристалла алмаза методом плазмохимического осаждения CVD
0.910
НИОКТР
Синтез алмазных плёнок в СВЧ плазме: влияние состава газовой смеси на вторичное зародышеобразование
0.910
НИОКТР
Синтез и обработка новых неорганических материалов с использованием плазмы и микроволнового излучения
0.907
ИКРБС
Синтез и обработка новых неорганических материалов с использованием плазмы и микроволнового излучения
0.907
ИКРБС
Синтез новых неорганических материалов с использованием плазмы
0.902
НИОКТР
Синтез монокристаллов алмаза высокого качества в микроволновой плазме при высоких давлениях для применений в электронике и фотонике
0.899
НИОКТР
Синтез алмазных периодических структур и люминесцентных наночастиц в СВЧ плазме.
0.899
НИОКТР
Синтез и обработка новых неорганических материалов с использованием плазмы и микроволнового излучения
0.898
НИОКТР