Способ получения толстопленочных резисторов

Результат выполнения технологической разработки. Изобретение относится к электронной технике, а именно к способу получения толстопленочных высокотемпературных постоянных резисторов, в том числе, в составе гибридных интегральных схем, и может быть использовано в электронной, радиотехнической и других смежных отраслях промышленности. Повышение термического коэффициента сопротивления происходит за счет улучшения однородности формируемых резистивных слоев, а также увеличение выхода годных резисторов - за счет сокращения числа технологических операций и повышения управляемости процесса формирования слоев с высоким соответствием заданным параметрам. Технический результат достигается за счет того, что при изготовлении толстопленочных резисторов, после формирования планарных контактов на керамической пластине путем нанесения высокотемпературной резистивной пасты методом трафаретной печати, проводят вжигание пасты при температуре 810-850 °С с одновременным высокочастотным 60-80 МГц электромагнитным воздействием на расплавленную пасту. URL: https://new.fips.ru/registers-doc-view/fips_servlet?DB=RUPAT&DocNumber=2776657&TypeFile=html (дата обращения: 03.10.2023)