Разработка технологии изготовления пассивных согласующих элементов для СВЧ интегральных схем

20.05.2025

Объект исследования: МОП-конденсаторов на Si низкоомной подложке Цель работы: исследование и разработка технологий изготовления пассивных интегральных компонентов (ПИК) на основе Si подложек для СВЧ применений. Ожидаемые результаты: 1 Будет исследована технология изготовления МОП-конденсаторов на Si низкоомной подложке. 2 Должна быть исследована технология изготовления изделий на основе пассивных интегральных компонентов на Si высокоомной подложке; 3 Должны быть изготовлены образцы МОП-конденсаторов; 4 Должны быть изготовлены образцы изделий на основе технологии ПИК; 5 Должны быть исследованы характеристики изготовленных образцов.

ГРНТИ

47.13.11 Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники

Ключевые слова

ТЕХНОЛОГИЯ

КРЕМНИЕВАЯ ПОДЛОЖКА

ПАССИВНЫЙ ИНТЕГРАЛЬНЫЙ КОМПОНЕНТ

Детали

Начало

15.04.2025

Окончание

15.10.2025

№ контракта

Договор № 2502/604

Заказчик

ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "РАДИС ЛТД"

Исполнитель

ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ"

Бюджет

Средства хозяйствующих субъектов: 720 000 ₽

Похожие документы

Исследование технологии изготовления пассивных интегральных компонентов на основе кремниевых подложек для СВЧ применений

Разработка топологии и технологии изготовления СВЧ транзисторов для создания усилителей мощности

0.922

ИКРБС

Разработка и совершенствование конструктивно-технологического базиса отечественной электронной компонентной базы (промежуточный).