РИД
№ 625013007275-6

Способ изготовления омических контактов

30.01.2025

Предлагается использовать в качестве контактного слоя высокопроводящий слой HgTe, выращенный методом молекулярно-лучевой эпитаксии и легированный индием в едином технологическом процессе до концентрации более 10^18 см^-3. В отличии от ранее применяемого способа выращивания слоя HgCdTe с последующим нанесением металлизации индием в отдельной камере, предлагаемый способ позволяет значительно упростить технологию изготовления омического контакта к широкозонному материалу HgCdTe, что открывает возможность применить ее в едином процессе при выращивании сложных лазерных структур с широкозонными волноводами дырочного и электронного типов проводимости с заключенной между ними множественными квантовыми ямами Hg1-xCdxTe/Hg1-yCdyTe в качестве активной области лазерных структур без выноса в окружающую атмосферу.
ГРНТИ
29.19.31 Полупроводники
29.19.22 Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
29.19.16 Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
Ключевые слова
широкозонный слой
HgCdTe
HgTe
молекулярно-лучевая эпитаксия
толщина
Детали

Тип РИД
Секрет производства (ноу хау)
Сферы применения
Техническим результатом ноу-хау является создание технологии формирования омического контакта к широкозонным слоям HgCdTe для лазеров инфракрасного и терагерцового спектральных диапазонов на основе сложной многослойной структуры с широкозонными волноводными слоями и встроенными множественными квантовыми ямами.
Ожидается
Исполнитель
Исполнители
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ ИМ. А.В. РЖАНОВА СИБИРСКОГО ОТДЕЛЕНИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
Похожие документы
Способ изготовления омических контактов к нитридным гетероструктурам на основе Si/Al
0.924
РИД
Способ изготовления омического контакта к AlGaN/GaN
0.920
РИД
Способ изготовления омических контактов
0.920
РИД
Способ изготовления омического контакта с низким удельным сопротивлением к пассивированной нитрид-галлиевой гетероструктуре на кремниевой подложке
0.912
РИД
Прозрачные омические контакты для изделий гетероструктурной полупроводниковой оптоэлектроники
0.910
Диссертация
Способ изготовления омических контактов фотоэлектрического преобразователя
0.910
РИД
Исследование омических контактов к легированным наногетероструктурам GaAs, InGaAs для полевых и гетеробиполярных СВЧ-транзисторов
0.906
Диссертация
Способ формирования оптически прозрачного омического контакта к поверхности полупроводникового оптического волновода электрооптического модулятора
0.906
РИД
Разработка высокочувствительных элементов оптических систем различного назначения на основе поверхностно-барьерных наноструктур из варизонного HgCdTe, выращенного методом МЛЭ на альтернативных подложках
0.900
НИОКТР
Физико-технологические основы создания униполярных барьерных структур на основе МЛЭ n-HgCdTe для инфракрасных детекторов с пониженными темновыми токами
0.900
НИОКТР